用于集成电路生产的亚波长全息光刻技术

    SWHL GmbH是一家瑞士私营公司,旨在开发全息成像的各种应用。亚波长全息光刻(简称SWHL)是一种用于集成电路生产的新光刻技术,可降低IC生产的光刻阶段的成本。该技术中,全息步进器不需要投影光学器件,设计比投影扫描仪简单;全息掩模的结构非常简单,可以在短时间内(<2小时)在基本的掩模书写设备上生产;它们对局部缺陷不敏感,使用寿命长,不需要控制或维护。


            
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