磁场中的冷空心阴极气体等离子体发生器

    俄罗斯科学院西伯利亚分院强流电子学研究所成立于1977年,致力于强流电子学的基础研究和应用开发。该研究所拥有363名全职员工,其中包括多位院士和博士,专注于物理电子学、现代等离子体物理学及其应用等领域,尤其在材料和产品的改性技术方面具有深厚积累。


    该项目介绍了一种用于离子束辅助沉积系统的气体等离子体发生器,旨在高效产生反应性和化学活性的气体等离子体,用于功能性涂层。该设备能够在电流为20–200 A、压力为10-1 -1Pa的条件下,在大空间(最大0.5立方米)内生成密度约为1010 cm-3、电子温度约为3 eV的等离子体。其结构包括置于轴向磁场中的圆柱形空心阴极和引弧系统,工作真空室用作空心阳极。该发生器具有高效电离化学活性气体(如O2、CH4等)、长使用寿命以及产生致密、均匀、低温且微滴颗粒含量极少的等离子体的优点。其应用领域涵盖材料和产品的表面改性,包括清洗、蚀刻、退火、活化及功能性涂层的沉积等。


    目前该技术已进入小规模试生产阶段,并申请了专利以保护其创新成果。外方希望通过技术转让、技术入股或专利许可证贸易等方式进行合作。


            
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