莱布尼茨晶体生长研究所(IKZ)位于德国柏林阿德勒斯霍夫,隶属于莱布尼茨协会,是国际知名的晶体材料科学技术、服务和知识转移中心。该所专注于基础研究、应用研究以及工业前研究项目,结合内部专业知识(包括工厂工程、数值模拟和晶体生长),开发创新技术以获得高质量的定制性能晶体材料。IKZ的核心团队由托马斯·斯特劳宾格博士领导,他长期从事氮化铝(AlN)和氧化镓(Ga?O?)等新型半导体材料的研究,并发表了多篇高水平论文及多项相关专利。
该项目主要为气相生长半导体的晶体生长装置。该装置包括坩埚、加热元件和托板,其中坩埚置于坩埚容器内,用于容纳源材料;加热元件则用于将源材料加热至气态并流向坩埚盖;托板用于放置籽晶,并使气化的源材料在其表面重新升华以生长半导体。通过此工艺生产的半导体(特别是AlN或SiC)具有以下特点:至少90%的体积内位错极少,伯格斯矢量沿<0001>方向分布,且在至少一个方向上直径达到10 mm或更大;同时,c晶格参数的变化范围为0.00060 ?或更小,a晶格参数的变化范围为0.00040 ?或更小。此外,该技术能够降低N极性c面上的生长速率,实现更快的横向表面生长,并制造出缺陷相对较少的半导体。
目前,该技术已申请专利(专利号:DE102022119343),外方希望通过技术转让和技术许可贸易的方式进行合作。
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